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熱電対付ウエハの概要

熱電対付ウエハとは、半導体製造の高温処理工程において、装置内の温度を確認する用途で使用するものです。

半導体製造の中には酸化工程や焼成工程など、高温で処理する工程が多く存在します。装置内でシリコンウエハ上にムラなく熱をかけられているかどうか、正確に確認するため、シリコンウエハ上に数箇所、熱電対を取り付け、温度を確認することがあります。

当社の取り扱っているサービスでは、シリコンウエハ上に取り付ける熱電対に特徴があります。クリーン環境での使用において発塵を抑制できる加工、破損しやすい素線の取り付けを工夫し長寿命化、更には極細線熱電対を使用することで、炉内の温度乱れの防止も可能です。この熱電対はシリコンウエハだけでなく、液晶用ガラス基板他、様々なものへの取り付けが可能で、また真空環境下での温度測定にも対応することができます。

 
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