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再生ウエハの概要

再生ウエハとは、設備の確認やテスト用に、使用済みダミーウエハを研磨加工した、繰り返し使えるウエハです。

微細な加工が必要な半導体製造においては、設備の環境確認及びテストを頻繁に行います。そこでは、プライムウエハから規格外となった、モニターウエハ、ダミーウエハなどが使用されており、さらに設備の環境確認及び装置の動作テストで使用済のウエハを薬液による表面膜除去、ウエハ表面研磨で鏡面に仕上げる再生ウエハも設備の環境確認及び装置の動作テストに多く使われています。

つまり半導体製造においては、製品となる物以外では、必ずしもプライムウエハが使用されているわけではなく、安価なモニターウエハ、ダミーウエハ、更により安価で繰り返し使用可能な再生ウエハが広く使われています。再生ウエハはお客様が使用可能な厚みを下回るまで、何度でも再生加工を行うことが出来るので、非常に経済的です。

日本ケミコンが取り扱っているサービスでは、お客様で使用済みとなったダミーウエハや再生ウエハを回収し、再生加工サービスを施しお客様に提供しております。

 
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