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シリコンウエハ、シリコンウエハ関連サービス Electro-Mechanical Products

ウエハ成膜、パターン加工

当社では、8インチ及び12インチウエハへの各種成膜加工、パターン加工に対応しております。

<成膜加工例>

<パターン加工例>

成膜、パターンニング加工の特長

・成膜可能品種

種類 Category 製法 膜種
酸化膜系 Oxide 熱酸化膜 Thermally oxidized film 薄膜・超厚膜熱酸化膜
LP-CVD LP-SiO2,HTO,LP-TEOS
PE-CVD PE-SiO2,PE-TEOS,HDP etc.
スピンコート Spin coating SOG
アニール炉 Annealing RTO
窒化膜系 Nitride LP-CVD LP-SiN
PE-CVD PE-SiN
シリコン系 Silicon LP-CVD Poly-Si,Amorphous-Si
有機膜系 Photo/Resists スピンコート Spin coating G線・I線・Krf・ArFレジスト,ポリイミド
メタル系 Metal スパッタ Spattering Al,Ti,Ta,Cr,Cu,W,ITO etc.
めっき Coating Ti,Ni,Au,Cu etc.
CVD W-Si

・パターンマスクの製作が可能です。
・Holeパターン、ライン&スペース共に90nmサイズの加工が可能です。

問い合わせ先

日本ケミコン株式会社 営業推進部 機能材料グループ
住所:〒141-8605 東京都品川区大崎5丁目6番4号
TEL :03-5436-7627
E-mail:ipc-tec@nippon.chemi-con.co.jp